Feidhmeanna Lárnacha agus Príomhfheidhmeanna

Cosaint támh (Frith-ocsaídiúcháin/Cosc Taise): Go ceimiceach cobhsaí, aonraíonn nítrigin ocsaigin agus taise, rud a chuireann cosc ar ocsaídiú nó éilliú ábhar íogair ar nós sliseog sileacain, idirnasc miotail, agus fótaisintéis. I measc na gcásanna tipiciúla tá: stóráil/iompar sliseog, bratú fótairéiseach, sil-scannán tanaí CVD/ALD, anáil theirmeach gasta (RTA), agus nascadh sreinge.

Rialú Próisis agus Gás Iompróra: Feidhmíonn sé mar ghás iompróra chun réamhtheachtaithe a iompar, ag cinntiú go ndéantar iad a sheachadadh go haonfhoirmeach isteach sa seomra imoibrithe. Feidhmíonn sé freisin mar ghás caolaithe nó cúlra chun plasma a chobhsú, rátaí imoibrithe a rialáil, agus aonfhoirmeacht scannáin tanaí a fheabhsú chomh maith le cruinneas próifíl eitseála. I measc na gcásanna tipiciúla tá: CVD/ALD, eitseáil plasma, agus maolán ionchlannú ian.

Glanadh agus íonú: Glanann sé substaintí iarmharacha go críochnúil ó sheomraí trealaimh agus ó phíblínte chun traséilliú a chosc. Ina theannta sin, coinníonn sé brú dearfach laistigh de sheomraí glana agus bunaítear bacainní imbhalla aeir cosanta. I measc na gcásanna tipiciúla tá: lascadh cuasáin in uirlisí liteagrafaíocht/eitseála, lascadh líne gáis, agus cothabháil brú dearfach sa seomra glan.

Feidhmchláir Chúnta agus Speisialaithe: sliseanna a chosaint le linn próisis ardteochta; ocsaídiú sádrála a chosc agus fliuchtacht a fheabhsú le linn athshreabhadh SMT agus sádráil tonnta; ocsaídiú dromchla a íoslaghdú le linn próiseála léasair; agus timpeallacht stórála támh a sholáthar do chomhpháirteanna íogaire (cosúil le cinn mhaighnéadacha agus stiúir) chun rátaí teipe a laghdú.